原標(biāo)題：從創(chuàng)造“中國芯”到核心裝備“中國造”

 

    南昌不斷沖擊世界LED產(chǎn)業(yè)制高點(diǎn)

 

    1400℃!這差不多是鋼融化的溫度，這也是生產(chǎn)深紫外LED外延晶片的核心裝備MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔溫度。近日，在位于南昌高新區(qū)的南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，負(fù)責(zé)人告訴記者，正是因?yàn)楣咀钚峦瞥龅牧慨a(chǎn)深紫外LED的MOCVD設(shè)備，在這樣一個比普通MOCVD設(shè)備高得多的腔體溫度下，也能實(shí)現(xiàn)對溫度均勻性的精準(zhǔn)控制，滿足了深紫外LED大批量、低成本制造的一系列需求，從今年6月起，這一具有世界領(lǐng)先水平的核心裝備從南昌走向國內(nèi)外市場。由此，南昌向著世界LED產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn)，再次攀登了一大步。

 

    LED產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)一樣，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要分支，曾經(jīng)存在著芯片關(guān)鍵技術(shù)和核心制造裝備等產(chǎn)業(yè)金字塔的制高點(diǎn)受制于人的情況。不過，得益于南昌在LED領(lǐng)域的不斷創(chuàng)新，16年前，誕生于南昌的硅襯底LED技術(shù)，一舉改變了日美公司分別壟斷藍(lán)寶石襯底和碳化硅襯底芯片技術(shù)的局面，并在2015年獲得國家技術(shù)發(fā)明一等獎。通過16年的不懈努力，“中國芯”吸引并孵化上百家企業(yè)，在南昌形成了一個高端特種照明產(chǎn)業(yè)集群。這是南昌向LED產(chǎn)業(yè)制高點(diǎn)發(fā)起的第一次沖擊。

 

    站在更高的臺階，南昌仰望產(chǎn)業(yè)金字塔的“塔尖”——技術(shù)密集度最高，生產(chǎn)LED芯片的上游產(chǎn)品，LED外延片最為核心的MOCVD設(shè)備如果長期依賴國外，自主LED產(chǎn)品的研發(fā)和制造受到諸多限制，南昌LED產(chǎn)業(yè)要想獲得長遠(yuǎn)的發(fā)展，就必須在這一領(lǐng)域有所突破。他們走上了另一條創(chuàng)新之路。

 

    2017年底，有感于南昌人獨(dú)具創(chuàng)新的“重資本、輕資產(chǎn)”招商政策和完善的自主產(chǎn)業(yè)鏈，特別是對產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的執(zhí)著追求，當(dāng)時，剛在國內(nèi)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于藍(lán)光LED的MOCVD設(shè)備自主研發(fā)的中微公司，選擇在南昌擴(kuò)充其產(chǎn)能，并把這里作為最主要的MOCVD設(shè)備制造基地。2018年3月，公司就生產(chǎn)出了南昌制造的第一臺MOCVD設(shè)備。有了南昌的鼎力相助，當(dāng)年，中微公司MOCVD設(shè)備產(chǎn)量超過100腔體。2019年，這一數(shù)字進(jìn)一步攀升。由于同樣性能水平下，設(shè)備產(chǎn)能高出國外設(shè)備20%，中微公司僅用一年時間，就受到諸多國內(nèi)客戶的青睞，成為下游企業(yè)應(yīng)用于藍(lán)光LED的MOCVD首選設(shè)備。

 

    如今，隨著市場對高產(chǎn)能、低能耗MOCVD設(shè)備的需求更趨強(qiáng)烈，特別是深紫外LED為整個產(chǎn)業(yè)打開了一片藍(lán)海，8月5日，在南昌的進(jìn)一步支持下，中微公司新的生產(chǎn)研發(fā)基地開工建設(shè)，將使其MOCVD設(shè)備的年產(chǎn)能進(jìn)一步擴(kuò)充。同時，中微公司還將在南昌開展與MOCVD設(shè)備相關(guān)的基礎(chǔ)科學(xué)研究和第三代半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)品開發(fā)，逐步將南昌打造成世界級MOCVD設(shè)備研發(fā)、制造及創(chuàng)新中心。

 

    從創(chuàng)造“中國芯”，到核心裝備“中國造”，再到全自主產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同創(chuàng)新，屆時，南昌將真正站上世界LED產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn)。(來源：江西日報(bào)記者殷勇)